Главная страница  |  Описание сайта  |  Контакты
РЕЗИСТИВНЫЙ СПЛАВ
РЕЗИСТИВНЫЙ СПЛАВ

РЕЗИСТИВНЫЙ СПЛАВ

Патент Российской Федерации
Суть изобретения: Изобретение относится к электротехнике, радиотехнике, микроэлектронике и может быть использовано для изготовления пленочных резисторов. Резистивный сплав, содержащий кобальт, образует интерметалид CoGe в следующем соотношении компонентов, мас. % : кобальт 50; германий 50. 1 ил.
Поиск по сайту

1. С помощью поисковых систем

   С помощью Google:    

2. Экспресс-поиск по номеру патента


введите номер патента (7 цифр)

3. По номеру патента и году публикации

2000000 ... 2099999   (1994-1997 гг.)

2100000 ... 2199999   (1997-2003 гг.)
Номер патента: 2007490
Класс(ы) патента: C22C19/07
Номер заявки: 4952416/02
Дата подачи заявки: 28.07.1991
Дата публикации: 15.02.1994
Заявитель(и): Опытный завод микроэлектроники "РИФ"; Воронежский политехнический институт
Автор(ы): Юрьев В.А.; Иванов А.С.
Патентообладатель(и): Опытный завод микроэлектроники "РИФ"
Описание изобретения: Изобретение относится к электротехнике, радиотехнике, микроэлектронике и может быть использовано для изготовления пленочных резисторов.
Известен резистивный сплав на основе кобальт-кремний (мас. % Co 27-29; Si 67-71; Cr 2-4) /1/.
Недостатком этого сплава является высокое удельное поверхностное сопротивление пленки ( ρs) и высокое значение отрицательного температурного коэффициента сопротивления (ТКС).
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому сплаву является резистивный сплав, содержащий кобальт (мас. % 57-61), хром (мас. % 9-13), остальное кремний /2/.
Недостатком известного резистивного сплава является сравнительно большой отрицательный температурный коэффициент сопротивления (ТКС 10-3, 10-4) в температурном интервале от -60 до 125оС, а также относительно высокая температура стабилизирующего отжига (350оС).
Целью изобретения является снижение и стабилизация температурного коэффициента сопротивления в широком интервале номиналов поверхностного сопротивления.
На чертеже представлены температурные зависимости относительного сопротивления ΔR/R для сплавов РС-3710 и предла- гаемого после предварительного нагрева до 500оС.
Сплав согласно изобретению изготавливают следующим образом.
Исходные составляющие берут в разных весовых соотношениях (кобальт - мас. % 50, германий - мас. % 50) и подвергают плавлению в электровакуумной печи "Редмет 201" при температуре 1200-1250оС в условиях вакуума не ниже 10-3 Т.
Расплав заливают в графитовую форму и в процессе затвердевания происходит синтез с образованием интерметаллида представляющий собой фазу Лавеса с моноклинной безоцентрированной решеткой.
Полученная отливка (мишень) имеет форму диска ⊘ 200 мм толщиной 7-10 мм. Контроль состава мишени осуществляется методом рентгеновского фазового анализа на дифрактометре ДРОН-2. Дополнительная механическая обработка поверхности не требуется.
Получение пленочного резистора осуществляется магнетронным методом на установке вакуумного напыления УВН 75П-1.
Напыление производится на холодную ситаловую подложку марки СТ-60, температура стабилизирующего отжига напыляемой марки составляет 250-300оС в течение 30 мин в среде инертного газа или вакууме.
Поскольку напыление в производстве производится магнетронным методом на установке вакуумного напыления УВН 75П-1 или любым известным методом напыления, то диссоциация химсоединения исключается.
Предлагаемый резистивный сплав позволяет получить любым известным методом напыления пленки резисторы со следующими характеристиками: при толщине пленки от 1,8 до 0,1 мкм, удельное поверхностное сопротивление от 0,1 до 1 кОм/кВ, температурный коэффициент сопротивления (ТКС) 1˙10-5, в температурном интервале от -60 до +125оС, при этом температура отжига напыляемой пленки составляет 250-300оС в течение 30 мин в среде инертного газа или в вакууме, что по сравнению с прототипом на 50оС ниже и на 3,5 ч короче технологический цикл. (56) ГОСТ 23774-79 (Сплав РС-2802М).
ГОСТ 23774-79 (Сплав РС-6012).
Формула изобретения: РЕЗИСТИВНЫЙ СПЛАВ, содержащий кобальт, отличающийся тем, что, с целью снижения и стабилизации температурного коэффициента сопротивления в широком интервале номиналов поверхностного сопротивления, он дополнительно содержит германий при следующем соотношении компонентов, мас. % :
Кобальт 50
Германий 50
при этом компоненты образуют интерметаллид CoGe.