Forbidden

You don't have permission to access /zzz_siteguard.php on this server.

СПЛАВ ДЛЯ РАСПЫЛЯЕМОЙ МИШЕНИ - Патент РФ 2026398
Главная страница  |  Описание сайта  |  Контакты
СПЛАВ ДЛЯ РАСПЫЛЯЕМОЙ МИШЕНИ
СПЛАВ ДЛЯ РАСПЫЛЯЕМОЙ МИШЕНИ

СПЛАВ ДЛЯ РАСПЫЛЯЕМОЙ МИШЕНИ

Патент Российской Федерации
Суть изобретения: Изобретение относится к металлургии, а именно к сплавам на никелевой основе, используемым в качестве распыляемых мишеней. Сплав содержит следующие компоненты, мас. %: тантал 16,5 - 21,5; титан 0,3 - 0,8; лантан 0,01 - 0,03; иттрий 0,01 - 0,03; кальций 0,01 - 0,05; никель - остальное. 2 табл.
Поиск по сайту

1. С помощью поисковых систем

   С помощью Google:    

2. Экспресс-поиск по номеру патента


введите номер патента (7 цифр)

3. По номеру патента и году публикации

2000000 ... 2099999   (1994-1997 гг.)

2100000 ... 2199999   (1997-2003 гг.)
Номер патента: 2026398
Класс(ы) патента: C22C19/03
Номер заявки: 4929341/02
Дата подачи заявки: 17.04.1991
Дата публикации: 09.01.1995
Заявитель(и): Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов
Автор(ы): Талакин Н.И.; Паршин В.А.; Морев Н.В.; Спесивцев А.А.; Дудаль А.К.; Чуева М.В.; Енина В.А.
Патентообладатель(и): Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов
Описание изобретения: Изобретение относится к металлургии, а именно к сплавам на никелевой основе, используемым в качестве материала распыляемых мишеней для нанесения пленок тонкопленочных резисторов (ТПР) гибридных интегральных микросхем (ГИС).
Подобные тонкопленочные резисторы возможны к применению в широком диапазоне изделий, в частности в "силовых" микросборках и микроблоках, например источниках вторичного электропитания.
Известен сплав следующего состава, мас.%: никель 57-70; кобальт 1-5; кремний 25-46, имеет ρs 5-500 Ом/кВ, ТКС = =(200-400) ˙10-5 К-1; не более 1,0% и удельную мощность рассеивания не более 5 Вт/см2, т.е. он удовлетворяет требованиям только по значению стабильности [1].
Наиболее близким по технической сущности, взятый за прототип, является сплав на основе никеля следующего состава, мас.%: никель 40-60; дисилицид тантала (TaSi2) 40-60 [2].
Основным недостатком является то, что этот сплав имеет нежелательно высокое удельное поверхностное сопротивление ρs = 10-60 Ом/кВ и удельную рассеиваемую мощность Р не более 8 Вт/см2, что не позволяет его применять для ультранизкоомных ТПР и для "силовых" микросборок с уровнем токов ≥ 1 А.
Целью изобретения является создание сплава на никелевой основе, изготовленные из которого тонкие пленки обладают пониженными значениями удельного поверхностного сопротивления и температурного коэффициента сопротивления, имеют повышенную стабильность и более высокую удельную рассеиваемую мощность.
Поставленная цель достигается введением чистого тантала, титана, лантана, иттрия и кальция, а все компоненты взяты в следующем соотношении, мас. % : Тантал 16,5-25,5 Титан 0,3-0,8 Лантан 0,01-0,03 Иттрий 0,01-0,03 Кальций 0,01-0,05 Никель Остальное
Пленки, полученные из предлагаемого сплава, превосходят по комплексу свойств пленки, полученные из сплава-прототипа.
Для получения сплава были изготовлены композиции предлагаемого сплава и композиция сплава-прототипа (табл. 1, в ней плавки 1 и 5 являются запредельными).
Каждая композиция выплавлялась в вакуумной индукционной печи с основной футеровкой тигля емкостью 10 кг. Слитки ВИ при 1130-900оС проковывались на пластины, из которых механическим способом вырезались диски диаметром 200 мм и толщиной 10 мм, служащие мишенями для напыления пленок. Распыляемая мишень сплава прототипа была изготовлена из смеси порошков по технологии порошковой металлургии.
Напыление пленок производилось на установке УВН-75П-1 на ситалловые подложки. Результаты испытаний приведены в табл. 2.
Как видно из табл. 2, преимущества заявляемого сплава перед прототипом (базовым объектом) состоит в повышении удельной рассеиваемой мощности Р более чем в 2 раза, снижении удельного поверхностного сопротивления ρs в 2-3 раза.
Преимущества предлагаемого сплава по комплексу электрических свойств по сравнению с прототипом и другими материалами аналогичного назначения обусловлено образованием атомами его кристаллической решетки изопотенциального электронно-валентного состояния и отсутствием локальных ковалентных связей, присущих сплавам, содержащим кремний.
Применение нового сплава позволит осуществить новые конструкторские разработки тонкопленочных резисторов, обладающих повышенными эксплуатационными характеристиками; увеличить ресурс работы изделий; повысить надежность приборов.
Формула изобретения: СПЛАВ ДЛЯ РАСПЫЛЯЕМОЙ МИШЕНИ, включающий никель, отличающийся тем, что, с целью повышения удельной мощности рассеивания и снижения удельного поверхностного сопротивления при сохранении значений температурного коэффициента сопротивления и величины необратимых изменений сопротивления (стабильности работы), он дополнительно содержит тантал, титан, иттрий, лантан и кальций при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Тантал - 16,5 - 21,5
Титан - 0,3 - 0,8
Лантан - 0,01 - 0,03
Иттрий - 0,01 - 0,03
Кальций - 0,01 - 0,05
Никель - Остальное