Главная страница  |  Описание сайта  |  Контакты
СКРУББЕР
СКРУББЕР

СКРУББЕР

Патент Российской Федерации
Суть изобретения: Использование: в устройствах для очистки газов от примесей и в полупроводниковых производствах для очистки технологических газов от водорода, паров хлоридов металлов, хлористого водорода и т.п. примесей. Сущность изобретения: скруббер, содержащий входной 2 и выпускной 3 патрубки, форсунку 5, нейтрализатор 4 и влагоотделитель 6, снабжен установленным между влагоотделителем 6 и выпускным патрубком 3 поглотителем 11, а нейтрализатор 4 и влагоотделитель 6, между которыми размещена форсунка 5 шаровой формы, выполнены в виде соединенных между собой чередованием меньшего основания с большим конических трубок, при этом размеры трубок влагоотделителя 6 меньше размеров трубок нейтрализатора 4. 1 ил.
Поиск по сайту

1. С помощью поисковых систем

   С помощью Google:    

2. Экспресс-поиск по номеру патента


введите номер патента (7 цифр)

3. По номеру патента и году публикации

2000000 ... 2099999   (1994-1997 гг.)

2100000 ... 2199999   (1997-2003 гг.)
Номер патента: 2027491
Класс(ы) патента: B01D53/18
Номер заявки: 4843170/26
Дата подачи заявки: 21.05.1990
Дата публикации: 27.01.1995
Заявитель(и): Научно-исследовательский институт точного машиностроения
Автор(ы): Буравцев А.Т.; Егорова М.Ф.
Патентообладатель(и): Научно-исследовательский институт точного машиностроения
Описание изобретения: Изобретение относится к конструкциям устройств для очистки газов от примесей и может быть использовано в полупроводниковых производствах для очистки технологических газов от водорода, паров хлоридов металлов, хлористого водорода и т. п. примесей.
Целью изобретения является повышение экологической чистоты за счет уменьшения загрязняющих отходов.
На чертеже показан скруббер, общий вид.
Скруббер состоит из вертикального корпуса 1 с входным 2 и выпускным 3 патрубками, нейтрализатора 4, форсунки 5, влагоотделителя 6, отстойника 7, перевернутого стакана 8, патрубков вывода шлама 9 и вывода жидкости (например, воды) 10. Между влагоотделителем 6 и выпускным патрубком 3 размещен поглотитель 11.
Скруббер работает следующим образом.
Газ, например водород, смешанный с парами тетрахлорида кремния, хлористым водородом и хлоридами или гидридами легирующих примесей (хлориды фосфора и мышьяка, арсин, фосфин, диборан - сильнодействующие отравляющие вещества) подают в устройство через входной патрубок 2. Затем он попадает в стакан 8, из которого выходит, барботируя через слой жидкости (например, воды) в отстойнике 7.
При этом газ частично очищается от примесей за счет абсорбции их жидкостью (например, водой), затем, поднимаясь вдоль корпуса 1, газ проходит через нейтрализатор 4 и также вступает в контакт с водой, поступающей из форсунки 5, очищаясь от примесей, абсорбируемых и уносимых водой. Далее газ поднимается и проходит через влагоотделитель и, очищенный от паров воды, поступает в поглотитель 11, выполненный, например, из активированного угля, в котором газы окончательно освобождаются от остатков вредных токсичных составляющих, и очищенный газ поступает в выпускной патрубок 3.
Выполнение нейтрализатора в виде соединенных между собой чередованием меньшего основания с большим конических трубок позволяет при прохождении через него газа отделять от него крупные включения примесей и капли жидкости (например, воды) с растворенными в ней примесями, которые, соскальзывая по трубкам вниз, попадают в отстойник для шлама и воды, что снижает содержание в газе разного рода токсичных составляющих, а это приводит к повышению экологической чистоты.
Размещение форсунки, выполненной в виде шара, над нейтрализатором позволяет еще раз активно вступать поднимающимся газам в контакт с жидкостью, например с водой, очищаясь при этом окончательно от примесей, абсорбируемых и уносимых водой, что повышает экологическую чистоту газов.
Выполнение влагоотделителя в виде соединенных между собой чередованием меньшего основания с большим конических трубок меньшего размера чем у нейтрализатора позволяет не пропускать через развитую за счет этого поверхность влагоотделителя остатки шлама и паров воды за счет их конденсации и потом удаления в отстойник.
Все это приводит к уменьшению содержания в газе разного рода токсичных составляющих при выбросе в атмосферу, что приводит к повышению экологической чистоты.
Снабжение поглотителем, размещенным между влагоотделителем и выпускным патрубком, выполненным, например, из активированного угля, позволяет улавливать из газа остатки вредных токсичных составляющих, после чего окончательно очищенный газ поступает в выпускной патрубок.
Кроме того, расширяются возможности использования скруббера, так как индивидуальные патрубки ввода могут быть запитаны от различных установок осаждения слоев, что позволяет осуществлять различные комбинации в организации цеховых коммуникаций сброса отходящих газов и совершенствовании систем их утилизации.
Использование изобретения позволяет значительно интенсифицировать процесс очистки.
Формула изобретения: СКРУББЕР, включающий корпус, входной и выпускной патрубки для газа, форсунку, нейтрализатор и влагоотделитель, отличающийся тем, что, с целью повышения экологической чистоты за счет уменьшения загрязняющих отходов, он снабжен установленным между влагоотделителем и выпускным патрубком поглотителем, а нейтрализатор и влагоотделитель выполнены в виде соединенных между собой чередованием меньшего основания с большим конических трубок, при этом размеры трубок влагоотделителя меньше размеров трубок нейтрализатора, а форсунка выполнена шаровой формы.