Forbidden

You don't have permission to access /zzz_siteguard.php on this server.

КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ - Патент РФ 2046154
Главная страница  |  Описание сайта  |  Контакты
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ

КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ

Патент Российской Федерации
Суть изобретения: Использование: в области нанесения тонких пленок в вакууме путем пучково-плазменного распыления. Сущность изобретения: в результате предложенной реконструкции механизма размещения катода-мишени обеспечивается ее равномерное распыление по всей поверхности. Катод-мишень установлен в направляющих с возможностью линейного перемещения от привода, а вдоль направляющих установлены электретно-магнитные экраны. 2 ил.
Поиск по сайту

1. С помощью поисковых систем

   С помощью Google:    

2. Экспресс-поиск по номеру патента


введите номер патента (7 цифр)

3. По номеру патента и году публикации

2000000 ... 2099999   (1994-1997 гг.)

2100000 ... 2199999   (1997-2003 гг.)
Номер патента: 2046154
Класс(ы) патента: C23C14/35, C23C14/04
Номер заявки: 93012688/10
Дата подачи заявки: 09.03.1993
Дата публикации: 20.10.1995
Заявитель(и): Ивашов Евгений Николаевич; Кондрашов Павел Евгеньевич; Оринчев Сергей Михайлович; Слепцов Владимир Владимирович; Степанчиков Сергей Валентинович
Автор(ы): Ивашов Евгений Николаевич; Кондрашов Павел Евгеньевич; Оринчев Сергей Михайлович; Слепцов Владимир Владимирович; Степанчиков Сергей Валентинович
Патентообладатель(и): Ивашов Евгений Николаевич; Кондрашов Павел Евгеньевич; Оринчев Сергей Михайлович; Слепцов Владимир Владимирович; Степанчиков Сергей Валентинович
Описание изобретения: Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме путем пучково-плазменного распыления.
Известен катодный узел [1] преимущественно для пучково-плазменного нанесения тонких пленок в вакууме, содержащий катод, мишень анод, магнитную систему, нагреватель, расположенной со стороны анода, противолежащий рабочей поверхности катода.
Недостатком аналога является то, что распыляемый материал с мишени удаляется неравномерно, с образованием продолговатых лунок, мишень быстро срабатывается, в основном в межполюсном пространстве магнитов, а остальная часть материала мишени не удаляется, но мишень приходится снимать и заменять на новую.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является катодный узел [2] преимущественно для пучково-плазменного напыления тонких пленок в вакууме, содержащий катод-мишень, конструктивно с ним взаимосвязанную магнитную систему, экран и элементы охлаждения и напуска газа.
Недостатком прототипа является то, что распыляемый материал удаляется с мишени неравномерно, мишень быстро срабатывается в межполюсном пространстве магнитов, а остальная часть материала мишени не удаляется, мишень приходится снимать и ставить новую.
Цель изобретения повышение срока службы катода-мишени за cчет равномерного распыления материала со всех участков мишени.
Цель достигается тем, что катод-мишень установлен в направляющих с возможностью линейного перемещения от привода, а вдоль направляющих установлены электретно-магнитные улавливающие экраны, выполненные в виде последовательно расположенных на направляющих электретных и магнитных пластинах.
Введение в катодный узел преимущественно для пучково-плазменного нанесения пленок в вакууме направляющих линейного перемещения катода-мишени, привода перемещения катода-мишени, электретно-магнитных улавливающих экранов обеспечивает практически полное удаление материала с мишени, что и позволяет решить указанную в изобретении задачу повышение срока службы катода мишени за счет равномерного распыления материала со всех участков мишени, при одновременной локализации магнитных и диэлектрических частичек износа, возникающих в результате трения направляющих о катод-мишень.
На фиг. 1 показан катодный узел преимущественно для пучково-плазменного нанесения тонких пленок в вакууме, общий вид; на фиг. 2 то же, вид сверху.
Катодный узел (фиг. 1) преимущественно для пучково-плазменного нанесения тонких пленок в вакууме содержит катод-мишень 1, конструктивно с ним взаимосвязанную магнитную систему 2, экраны 3, элементы 4 охлаждения и напуска 5. Катод-мишень 1 установлен в направляющих 6 (фиг. 2) с возможностью линейного перемещения от привода 7. Вдоль направляющих 6 установлены электретно-магнитные улавливающие экраны 8, 9, выполненные в виде последовательно расположенных на направляющих 6 электретных 10 и магнитных 11 пластинах. Привод 7 выполнен, например, ручным в виде передачи винт-гайка 12 с герметизирующим сильфоном 13 и закреплен на камере 14 с использованием диэлектрической развязки 15.
Катодный узел преимущественно для пучково-плазменного нанесения тонких пленок в вакууме работает следующим образом.
При выполнении технологического процесса напыления происходит удаление материала с катода-мишени 1 только в межполюсном пространстве магнитной системы 2. Для того, чтобы удаление материала осуществлялось по всей мишени 1, необходимо линейно переместить ее относительно магнитной системы 2 вправо-влево. При перемещении катода-мишени 1 в направляющих 6 возникают в результате трения катода-мишени 1 о направляющие 6 частички износа, распыление которых нежелательно. Для их локализации используются электретно-магнитные улавливающие экраны 8, 9.
Электретами называются постоянно наэлектризованные диэлектрики, несущие на противоположных сторонах разноименные заряды и способные создавать в окружающем пространстве электрическое поле. Это аналоги постоянных магнитов.
Электретное состояние может быть вызвано как "внутренней" релаксационной поляризацией, так и захваченными инжекторными зарядами ("внешняя" поляризация).
Величина остаточной электризации в электретах составляет от 10-9 до, 10-5 Кл/см2. С течением времени величина остаточной электризации меняется. Примерно через 10 недель индуцированные заряды становятся постоянными.
Наиболее стабильными электретами являются пленки из фторопласта-4, в них поверхностная плотность заряда составляет 10-8 Кл/см2 и сохраняется неизменной в течение нескольких лет.
Практически устройства на их основе можно использовать без подзарядки в течение трех лет с периодической чисткой.
Применение предлагаемого катодного узла преимущественно для пучково-плазменного нанесения тонких пленок в вакууме позволяет повысить срок службы катода-мишени 1 за счет равномерного распыления материала cо всех участков мишени в результате ее перемещения влево-вправо. Привод 7 может быть как ручной, так и электрический.
Формула изобретения: КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕ, содержащий катод-мишень, конструктивно с ним взаимосвязанную магнитную систему, экраны и элементы охлаждения и напуска, отличающийся тем, что катод-мишень установлен в направляющих с возможностью линейного перемещения от привода, а экран размещен на направляющих вдоль траектории перемещения катода-мишени и выполнен в виде набора последовательно расположенных пластин из электромагнитного и магнитного материалов.