Главная страница  |  Описание сайта  |  Контакты
СПОСОБ ЗАЩИТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ СВИНЦОВО-СИЛИКАТНЫМ СТЕКЛОВИДНЫМ ПОКРЫТИЕМ
СПОСОБ ЗАЩИТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ СВИНЦОВО-СИЛИКАТНЫМ СТЕКЛОВИДНЫМ ПОКРЫТИЕМ

СПОСОБ ЗАЩИТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ СВИНЦОВО-СИЛИКАТНЫМ СТЕКЛОВИДНЫМ ПОКРЫТИЕМ

Патент Российской Федерации
Суть изобретения: Использование: в способе защиты поверхности полупроводниковых приборов свинцово-силикатным стекловидным покрытием, используемом в микроэлектронике. Сущность изобретения: при приготовлении водного раствора стеклообразующих элементов перед добавлением раствора кремниевой кислоты в раствор азотнокислых солей свинца и алюминия добавляют азотнокислую соль никеля. Способ позволяет повысить пробивное напряжение полупроводниковых приборов.
Поиск по сайту

1. С помощью поисковых систем

   С помощью Google:    

2. Экспресс-поиск по номеру патента


введите номер патента (7 цифр)

3. По номеру патента и году публикации

2000000 ... 2099999   (1994-1997 гг.)

2100000 ... 2199999   (1997-2003 гг.)
Номер патента: 2046452
Класс(ы) патента: H01L21/316
Номер заявки: 5032627/25
Дата подачи заявки: 17.03.1992
Дата публикации: 20.10.1995
Заявитель(и): Завод "Искра"
Автор(ы): Браже Г.А.; Левин А.А.; Прокопьева Е.В.; Начаркина Е.Е.
Патентообладатель(и): Завод "Искра"
Описание изобретения: Изобретение относится к технологии изготовления пассивирующих покрытий для защиты поверхности полупроводниковых приборов.
В качестве защиты меза-структуры высоковольтных приборов широко применяются стекловидные покрытия, что вызвано их высокой влагоустойчивостью, термоустойчивостью, высокими электроизоляционными свойствами, стабильностью во времени. Среди них особое место занимают низкотемпературные свинцово-силикатные стекловидные покрытия.
Наиболее близким к заявленному способу является способ защиты поверхности полупроводниковых приборов свинцово-силикатными стеклами. Стекло защищает поверхность меза-структуры, но не повышает пробивное напряжение полупроводниковых приборов.
Техническим результатом изобретения является повышение пробивного напряжения полупроводниковых приборов после защиты их поверхности стекловидным покрытием путем введения в него добавки никеля.
Способ заключается во введении в водный раствор азотнокислых солей свинца и алюминия азотнокислого никеля с последующим смешиванием с раствором кремниевой кислоты, осаждением осадка гидроокисей водным раствором аммиака, просушиванием их до образования оксидов, помолом.
П р и м е р. Получение 200 г стеклопорошка состава, 44,99 PbO, 10 Al2O3, 44 SiO2, 0,01 NiO. Готовится водный раствор: 142 г Pb(NO3)2, 162 г Al(NO3)3˙9H2O, 0,1 г Ni(NO3)2 в 4800 мл Н2О [1] Гидролизом водного раствора тетраэтоксисилана 2 мл HNO3 в 1 л Н2О готовится раствор кремниевой кислоты (2). Растворы 1 и 2 сливают, перемешивают, получается раствор 3. Смешиванием 2200 мл 25% -ного аммиака и 4600 мл воды готовится водный раствор аммиака (4). Растворы 3 и 4 сливают при интенсивном перемешивании. Образующийся осадок гидроокисей отделяется от маточного раствора, высушивается, прокаливается при 740оС в течение 3 ч в атмосфере кислорода до получения оксидов, подвергается помолу на шаровой планетарной мельнице. Полученный стеклопорошок методом электрофореза наносится на поверхность полупроводниковой пластины, оплавляется при 870-900оС в сплошное прозрачное стекловидное покрытие.
Пробивное напряжение полупроводниковых приборов, изготовленных по предложенному способу, повышается на 200-400 В, что особенно важно при изготовлении высоковольтных приборов.
Формула изобретения: СПОСОБ ЗАЩИТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ СВИНЦОВО-СИЛИКАТНЫМ СТЕКЛОВИДНЫМ ПОКРЫТИЕМ, включающий приготовление водного раствора азотнокислых солей свинца и алюминия с последующим смешиванием с раствором кремниевой кислоты, осаждение осадка гидроокисей водным раствором аммиака, просушивание осадка, прокаливание и помол полученных оксидов, нанесение порошка оксидов на поверхность полупроводниковой пластины и оплавление, отличающийся тем, что перед смешиванием с раствором кремниевой кислоты в раствор азотнокислых солей свинца и алюминия добавляют азотнокислую соль никеля.