Главная страница  |  Описание сайта  |  Контакты
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОХЛАЖДЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМЕ
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОХЛАЖДЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМЕ

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОХЛАЖДЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМЕ

Патент Российской Федерации
Суть изобретения: Использование: радиоэлектроника. Сущность изобретения: устройство для охлаждения подложек в вакууме содержит охлаждаемый подложкодержатель 1, установленный на водяной рубашке 2, механические прижимы 3 для фиксации подложки 4 на установочной площадке подложкодержателя 1 и теплопроводный материал 5, размещенный на установочной площадке, при этом в подложкодержателе выполнено сквозное отверстие 6, в котором установлена тепловая труба 7 в форме диска, причем установочная площадка совмещена с внешней торцовой поверхностью диска тепловой трубы, а в качестве теплопроводного материала использован жидкий галлий. 1 з. п. ф-лы, 1 ил.
Поиск по сайту

1. С помощью поисковых систем

   С помощью Google:    

2. Экспресс-поиск по номеру патента


введите номер патента (7 цифр)

3. По номеру патента и году публикации

2000000 ... 2099999   (1994-1997 гг.)

2100000 ... 2199999   (1997-2003 гг.)
Номер патента: 2046838
Класс(ы) патента: C23C14/24
Номер заявки: 93043978/10
Дата подачи заявки: 07.09.1993
Дата публикации: 27.10.1995
Заявитель(и): Ивашов Евгений Николаевич; Кондрашов Павел Евгеньевич; Оринчев Сергей Михайлович; Степанчиков Сергей Валентинович
Автор(ы): Ивашов Евгений Николаевич; Кондрашов Павел Евгеньевич; Оринчев Сергей Михайлович; Степанчиков Сергей Валентинович
Патентообладатель(и): Ивашов Евгений Николаевич; Кондрашов Павел Евгеньевич; Оринчев Сергей Михайлович; Степанчиков Сергей Валентинович
Описание изобретения: Изобретение относится к технологической обработке подложек в вакууме, в частности к устройствам для охлаждения подложек в вакууме.
Известно устройство для охлаждения подложек в вакууме [1] содержащее охлаждаемый подложкодержатель и механические прижимы подложки.
Недостатком этого устройства является малая эффективность охлаждения из-за наличия зазора между подложкой и подложкодержателем.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для охлаждения подложек в вакууме [2] содержащее охлаждаемый подложкодержатель, механические прижимы и теплопроводящее вещество, взаимодействующее с подложкой и подложкодержателем. В качестве теплопроводящего вещества используется серебряная паста. Недостатком данного устройства является малая эффективность охлаждения за счет малой площади контакта между подложкой и теплопроводящим веществом, а также за счет малой теплопроводности собственно подложкодержателя. Задача изобретения повышение эффективности охлаждения подложек в вакууме.
Для этого в подложкодержателе выполнено сквозное отверстие, в котором закреплена тепловая труба в форме диска, а теплопроводный материал расположен между подложкой и тепловой трубой, которые по диаметру выполнены одинаковыми.
В качестве теплопроводного материала может использоваться жидкий галлий.
Введение в устройство для охлаждения подложек тепловой трубы в форме диска, а также расположение теплопроводного материала между подложкой и тепловой трубой обеспечивает условия, при которых возрастает площадь контакта между подложкой и теплопроводным материалом, а также возрастает теплопередача от тепловой трубы к подложке, что обеспечивает повышение эффективности охлаждения подложек в вакууме.
На чертеже представлено предлагаемое устройство для охлаждения подложек в вакууме.
Устройство для охлаждения подложек в вакууме содержит охлаждаемый подложкодержатель 1, посредством водяной рубашки 2, механические прижимы 3, подложки 4 и теплопроводный материал 5, взаимодействующий с подложкой 4. В подложкодержателе 1 выполнено сквозное отверстие 6, в котором закреплена тепловая труба 7 в форме диска, а теплопроводный материал 5, например жидкий галлий, расположен между подложкой 4 и тепловой трубой 7, которые по диаметру выполнены одинаковыми.
Устройство работает следующим образом.
Передача "холода" от водяной рубашки 2 осуществляется посредством тепловой трубы 7 через жидкий галлий. Обратная теплопередача, т.е. тепла от источника (не показан) не производится или производится незначительно, так как диаметры подложек 4 и тепловой трубы 7 равны, а сама подложка 4, выполненная из кремния, ситалла или поликора, является удовлетворительным теплоизолятором.
Применение предлагаемого устройства для охлаждения подложек повышает эффективность охлаждения подложки за счет увеличения площади контакта между подложкой и теплопроводным материалом, а также за счет увеличения теплопередачи от тепловой трубы к подложке.
Формула изобретения: 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОХЛАЖДЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМЕ, содержащее охлаждаемый подложкодержатель с установочной площадкой для размещения подложки, на установочной площадке которого размещен теплопроводный материал, и прижимы для фиксации подложки на подложкодержателе, отличающееся тем, что оно снабжено тепловой трубой в форме диска, диаметр которого равен диаметру подложки, в подложкодержателе выполнено сквозное отверстие, причем тепловая труба расположена в отверстии подложкодержателя, а установочная площадка для размещения подложки совмещена с внешней торцевой поверхностью диска тепловой трубы.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в качестве тепловодного материала использован жидкий галий.