Forbidden

You don't have permission to access /zzz_siteguard.php on this server.

СПОСОБ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ФОЛЬГИ ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОРОВ - Патент РФ 2109362
Главная страница  |  Описание сайта  |  Контакты
СПОСОБ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ФОЛЬГИ ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОРОВ
СПОСОБ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ФОЛЬГИ ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОРОВ

СПОСОБ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ФОЛЬГИ ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОРОВ

Патент Российской Федерации
Суть изобретения: Изобретение относится к производству электролитических конденсаторов. Согласно изобретению на металлическую фольгу в вакуумной инертной среде наносят покрытие из смеси токопроводящего и диэлектрического материалов методом высокочастотного магнетронного распыления из составной мишени. 3 ил.
Поиск по сайту

1. С помощью поисковых систем

   С помощью Google:    

2. Экспресс-поиск по номеру патента


введите номер патента (7 цифр)

3. По номеру патента и году публикации

2000000 ... 2099999   (1994-1997 гг.)

2100000 ... 2199999   (1997-2003 гг.)
Номер патента: 2109362
Класс(ы) патента: H01G9/00, H01G9/04
Номер заявки: 96110976/09
Дата подачи заявки: 30.05.1996
Дата публикации: 20.04.1998
Заявитель(и): Воронежский государственный технический университет
Автор(ы): Иевлев В.М.; Белоногов Е.К.; Бурова С.В.; Иевлев В.П.; Комбаров В.В.; Кущев С.Б.; Поваляев А.Д.; Тураева Т.Л.
Патентообладатель(и): Воронежский государственный технический университет
Описание изобретения: Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано в производстве электролитических конденсаторов.
Известен способ получения покрытия, состоящего из смеси гранул Al и Al2O3 на проводящей подложке методом реактивного испарения алюминия в атмосфере окислителя, который позволяет получать фольги повышенной емкости для электролитических конденсаторов.
Однако известный способ не позволяет с требуемой точностью контролировать и поддерживать на оптимальном уровне состав рабочей среды в вакуумной камере, следствием чего является недостаточная воспроизводимость количественного соотношения фаз, а следовательно, и электрофизических свойств напыленных слоев.
Изобретение направлено на повышение стабильности процесса и воспроизводимости эксплуатационных характеристик электролитических конденсаторов.
Это достигается тем, что процесс нанесения объемно-пористого металлодиэлектрического покрытия на проводящую подложку ведут методом высокочастотного магнетронного распыления обеих фаз в инертной среде.
На фиг. 1 - 3 представлена структура полученных композитов.
Способ реализуется следующим образом.
Предварительно изготовленную составную мишень из токопроводящего (Al) и диэлектрического материалов (Al2O3) помещают в вакуумную камеру, которую откачивают до давления 1,5 · 10-3 Па. Затем рабочий объем заполняется аргоном до давления 5 · 10-1 Па. После чего производится нанесение покрытия методом высокочастотного магнетронного распыления мишени. Правильный выбор геометрии распылительной системы и мишени, а также условий осаждения обеспечивает получение равномерных по толщине покрытий Al-Al2O3 на проводящей алюминиевой подложке.
Анализ электронограмм, представленных на фиг. 1 показал, что полученные пленки представляют собой смесь высокодисперсной проводящей фазы Al и аморфной Al2O3. Размер кристаллических частиц Al, хаотично распределенных в матрице Al2O3, определен с помощью темнопольного анализа (фиг. 2) и составляет 5 - 50 нм. Пленки имеют сильно развитую поверхность с неровностями величиной 0,5 - 1 мкм (фиг. 3). Такая морфология внешней границы раздела (Al - атмосфера) и структура полученного композита, определяющая высокое значение внутренней поверхности раздела (Al-Al2O3), обеспечивают достаточно высокое значение удельной электрической емкости, что в сочетании с хорошей адгезией полученных слоев позволяет их использовать в качестве пористых покрытий катодных фольг при производстве электролитических конденсаторов.
Предлагаемый способ может быть использован для расширения спектра материалов, применяемых для формирования развитого поверхностного рельефа катодных фольг электролитических конденсаторов.
Формула изобретения: Способ модификации поверхности фольги для электролитических конденсаторов путем магнетронного нанесения в высоком вакууме на металлическую фольгу покрытия, состоящего из смеси токопроводящего и диэлектрического материалов, отличающийся тем, что процесс ведут методом высокочастотного распыления в инертной среде из составной мишени.