Главная страница  |  Описание сайта  |  Контакты
Патент на изобретение №2476952

(19)

RU

(11)

2476952

(13)

C2

(51) МПК H01J31/52 (2006.01)

(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ПАТЕНТУ Статус: по данным на 18.02.2013 - нет данных Пошлина:

(21), (22) Заявка: 2010141368/07, 07.10.2010

(24) Дата начала отсчета срока действия патента:

07.10.2010

Приоритет(ы):

(22) Дата подачи заявки: 07.10.2010

(43) Дата публикации заявки: 20.04.2012

(45) Опубликовано: 27.02.2013

(56) Список документов, цитированных в отчете о

поиске: RU 2160479 C1, 10.12.2000. RU 2218560 C1, 10.12.2003. RU 2304826 С1, 20.08.2007. RU 2325725 С2, 27.05.2008. RU 2345440 C1, 27.01.2009. ЕР 1569284 А, 31.08.2005. US 4032783 А, 28.06.1977.

Адрес для переписки:

360004, КБР, г.Нальчик, ул. Чернышевского, 173, КБГУ, патентный отдел

(72) Автор(ы):

Карамурзов Барасби Сулейманович (RU),

Мустафаев Гасан Абакарович (RU),

Кармоков Ахмед Мацевич (RU),

Молоканов Олег Артемович (RU),

Панченко Валерий Александрович (RU)

(73) Патентообладатель(и):

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова" (RU)

(54) ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ

(57) Реферат:

Изобретение относится к электронной технике, в частности к электронно-оптическим преобразователям инфракрасного излучения с высокой разрешающей способностью. Технический результат: повышение разрешающей способности, обеспечивающее технологичность, улучшение параметров, повышение надежности и увеличение процента выхода годных приборов. Электронно-оптический преобразователь содержит вакуумированную колбу с входным окном, прозрачным в инфракрасной области спектра, фотокатод, создающий поток электронов, пироэлектрическую мишень со сквозными отверстиями, разделенными на дискретные элементы для прохождения электронного потока, управляющий электрод, несущую диэлектрическую пленку и поглощающий слой, включающую пироэлектрический слой, устройство регистрации двумерного электронного изображения, микроканальную пластину - умножитель электронов, выполненный преимущественно из кремния. Пироэлектрический кристалл размещен непосредственно на микроканальной пластине и выполнен толщиной 0,1-5 мкм из пироэлектрического материала, наносимого в вакууме 10 -5 -10 -6 мм рт.ст. при температуре подложки 300-400°С. Размеры элементов пироэлектрического кристалла составляет 15-25 мкм. 1 табл., 1 з.п. ф-лы.

Изобретение относится к электронной технике, в частности к электронно-оптическим преобразователям инфракрасного излучения с высокой разрешающей способностью.

Известен способ изготовления электронно-оптического преобразователя, патент США 5017829, МКИ H01J 31/26, путем применения фотокатода, первой отклоняющей системы, щелевой диафрагмы, второй отклоняющей системы, люминесцентного экрана и двух электронных линз, одна из которых расположена непосредственно у фотокатода, а другая - на выходе из щелевой диафрагмы. Формирование на экране последовательности изображений в форме дискретных кадров осуществляется путем поэлементного пропускания изображения через щель, преобразования его во временную последовательность сигналов и восстановления пространственных распределений на экране с помощью второй линзы и второй отклоняющей системы. Электронно-оптический преобразователь, изготовленный таким способом, ограничивает сигнал и ухудшает электрические характеристики и параметры прибора.

Наиболее близким является электронно-оптический преобразователь по патенту РФ 2160479, МПК H01J 31/52, содержащий в вакуумированной колбе входное окно, прозрачное в инфракрасной области спектра, фотокатод, создающий поток электронов, устройство регистрации двумерного электронного изображения, пироэлектрическую мишень, включающую пироэлектрический слой, управляющий электрод, поглощающий слой, фотокатод выполнен сплошным из материала прозрачного в инфракрасном диапазоне и расположен на входном окне со стороны пироэлектрической мишени, пироэлектрическая мишень дополнительно содержит несущую диэлектрическую пленку, причем пироэлектрический слой, управляющий электрод, несущая диэлектрическая пленка и поглощающий слой пироэлектрической мишени расположены друг за другом по направлению от входного окна к устройству регистрации двумерного электронного изображения, пироэлектрический слой выполнен из отдельных дискретных элементов, управляющий электрод содержит щелевые отверстия, расположенные между дискретными элементами пироэлектрического слоя, несущая диэлектрическая пленка выполнена непрерывной и содержит щелевые отверстия, совпадающие с щелевыми отверстиями управляющего электрода, поглощающий слой выполнен в виде дискретных элементов, по конфигурации совпадающих с дискретными элементами пироэлектрического слоя.

Недостатками этого способа являются:

- низкая технологичность конструкции;

- плохая разрешающая способность;

- высокий уровень фонового сигнала.

Задача, решаемая изобретением: повышение разрешающей способности, обеспечивающее технологичность, улучшение параметров, повышение надежности и увеличение процента выхода годных приборов.

Указанная задача решается путем последовательного размещения источника электронов, пироэлектрического кристалла и микроканальной пластины с люминесцирующим экраном. Конфигурация пироэлектрического кристалла определяется геометрией входной плоскости микроканальной пластины, на которой формируется пирокристалл.

Предлагаемый электронно-оптический преобразователь содержит в вакуумированной колбе входное окно, прозрачное для ИК-излучения, источник электронов, пироэлектрическую мишень, включающую пироэлектрический слой, управляющий электрод, поглощающий слой, устройство регистрации двумерного электронного изображения, микроканальную пластину - умножитель электронов из кремния. Пироэлектрический кристалл размещают непосредственно на микроканальную пластину и формируют в виде дискретных элементов.

Предлагаемый электронно-оптический преобразователь работает следующим образом.

Катод, расположенный на входном окне, возбуждают источником вспомогательного излучения. Катод создает однородный поток электронов. На пути этого потока электронов находится пироэлектрическая мишень. Прошедший через пироэлектрическую мишень поток электронов попадает на микроканальную пластину - умножитель электронов из кремния. Затем электронный поток попадает на устройство регистрации двумерного электронного изображения (люминофор).

Пироэлектрический кристалл выполнен толщиной 0,1-5 мкм из пироэлектрического материала, наносимого в вакууме 10 -5 -10 -6 мм рт.ст. при температуре подложки 300-400°С. Размеры элементов пироэлектрического кристалла составляет 15-25 мкм.

При нагревании пироэлектрического слоя инфракрасным излучением, сфокусированным в плоскости мишени, внутренняя поляризация пироэлектрического материала изменяется и потенциал на поверхности пироэлектрического слоя изменяется в положительную или отрицательную сторону в зависимости от знака начальной поляризации пироэлектрического материала. Изменение потенциала на поверхности пироэлектрического слоя приводит к изменению количества электронов (фотоэлектронов), которые смогут пройти через пироэлектрическую мишень.

По предлагаемому способу были изготовлены электронно-оптические преобразователи. Результаты обработки представлены в таблице 1.

Таблица 1

Параметры приборов, изготовленных по стандартному способу

Параметры приборов, изготовленных по предлагаемому способу

Чувствительность, мК

Коэффициент преобразования, отн. ед.

Чувствительность, мК

Коэффициент преобразования, отн. ед.

30

25000

19

30000

32

24100

21

29800

35

24400

24

29200

37

24600

23

29600

31

24900

22

29500

33

24200

25

29700

35

24700

20

29100

34

24300

21

29400

39

24500

23

29800

40

24100

26

29300

36

24800

24

30000

38

24200

25

29900

Экспериментальные исследования показали, что выход годных приборов увеличивается на 12,5%.

Технический результат: повышение разрешающей способности, обеспечивающее технологичность, улучшение параметров, повышение надежности и увеличение процента выхода годных приборов .

Стабильность параметров во всем эксплуатационном интервале температур была нормальной и соответствовала требованиям.

Предложенный способ изготовления электронно-оптического преобразования путем размещения пироэлектрического кристалла на микроканальную пластину из кремния позволяет повысить процент выхода годных приборов и улучшить их надежность.

Формула изобретения

1. Электронно-оптический преобразователь, включающий вакуумированную колбу с входным окном, прозрачным в инфракрасной области спектра, источник электронов, представляющий собой фотокатод, из материала прозрачного в инфракрасном диапазоне, устройство регистрации двумерного электронного изображения, пироэлектрическую мишень со сквозными щелевыми отверстиями, отличающийся тем, что пироэлектрический кристалл размещен непосредственно на микроканальной пластине и выполнен толщиной 0,1-5 мкм из пироэлектрического материала, наносимого в вакууме 10 -5 -10 -6 мм рт.ст. при температуре подложки 300-400°С с размерами элементов кристалла 15-25 мкм.

2. Электронно-оптический преобразователь по п.1, отличающийся тем, что микроканальная пластина выполнена преимущественно из кремния.